▼主な特徴

・耐化学反応

・機械的強度

・耐熱強度

・軽量化

・ウエハーの再生に最適（サファイア、SIC、ガリ）

・テンプレートとスペーサーの厚みを±５ミクロンで調整可能な画期的な製品

・スラリコストの削減（従来の25%を実現）

▼製品説明

　炭素繊維素材により、耐化学反応・機械強度・軽量化などの優位性があり、ワックスレス研磨が可能になることから、スクラッチや傷などの発生原因を減らすことが可能になります。

　ウエハーの保持力が強くなることで、飛び出しや割れの発生率を極端に抑えることが可能になります。

　また、研磨布・テンプレートの長寿命化を実現します。

　テンプレートの新構造提案（特許出願中）により、従来のCMPの仕上げ精度を向上させます。